防微振净化屏蔽罩及光学平台微振动研究论文.pdfVIP

防微振净化屏蔽罩及光学平台微振动研究 ·徐有刚杜强冯加权魏晓贞 ‘中目工程物理研究院总体工程研究所 四川绋阳919信箱401分箱621900) 摘要： 利用锾加速度测试系统对防微振净化屏蔽罩及光学平台进行微振动现象观察。得到了徽 振动环境下的微加速度响应、微位移响应．为防徽振净化屏蔽覃及光学平台的验收，以及在正常工 作中受徽振动环境影畴时对该组件的影响，为该组件结构的适应性评估提供依据，可为同行在相同 结构徽振动分析、试验测试时借鉴． 关键词； 徽振动测试 微位移响应 防微振净化屏蔽罩 光学平台 Researchonmicro-vibrationofthe response endosureand fiat depurative-shieldedoptical 西蝴万勘砌哪西唧孵嗣晦蚴只0．Box919-401,MlanyangJtchⅢm621900,P．K