激光键合有限元仿真及工艺参数优化.pdfVIP

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  • 2017-08-31 发布于安徽
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激光键合有限元仿真及工艺参数优化.pdf

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 激光键合的有限元仿真及工艺参数优化 马子文 汤自荣 廖广兰 史铁林 聂 磊 周 平 华中科技大学机械科学与工程学院 武汉光电国家实验室武汉

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