氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式红外分析.pdfVIP

第 52 卷 第 1 期 2003 年 1 月 物 　理 　学 　报 Vol . 52 ,No . 1 ,J anuary ,2003 ( ) 10003290200352 01 016906 ACTA PHYSICA SINICA 2003 Chin . Phys. Soc . 氢化非晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析 罗 　志 　林璇英 　林舜辉 　余楚迎 　林揆训 　余云鹏 　谭伟锋 (汕头大学物理系 ,汕头 　515063) (2002 年 2 月 20 日收到 ;2002 年 5 月 10 日收到修改稿) ( ) ( ) ( ) ( ) 　　Fourier 红外透射 FTIR 谱技术是研究