硅基聚合物AWG波分复用器研究.pdfVIP

第3l卷第z2期 光 子 学报 vol3lNoz2 ：!!：兰!!旦 垒g三垒旦坚Q!Q巡旦垒；!堕!￡垒 211：：!!! 硅基聚合物AWG波分复用器研究。 张大明∞赵禹2王菲2陈开鑫2崔占臣3马春生2许武· (1．中国科学院长春光学糟密机械与物理研究所．长春130022) (2．集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，长春130023) (3．吉林大学化学学院，长春130022) 摘 要报道利用甲基丙稀酸甲醑-甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物研制AwG波分复用器， 对其原理、设计及制作工艺进行了研究．设计／：BAWG版图，利用铝掩模技术及反应离子刻 蚀工艺完成了聚合物AWG制作．实验结果证明，剩各的波导实现了单模传输． 关键词列阵波导光栅，聚合物，波分复用器 0引言 近几年宽带通信业务的迅速发展对网络的容量和速率提出了更高的要求，因此 对现行通信网的低成本的合理改造和扩容变得十分迫切．由于波分复用技术 (WDM)技术利用了光纤和掺铒光纤放大器的宽频带特性，使用多波长技术不仅