基于MEMSCMOS湿度传感器.pptVIP

毕业论文设计 基于MEMS的CMOS湿度传感器 目录 1感湿机理的讨论和分析 2工艺实现 3传感器的创新与不足 1感湿机理的讨论和分析 湿度 绝对湿度 相对湿度 亲水性/疏水性 极性分子/非极性分子 偶极距 高分子 化学吸附：吸附质分子与固体表面原子(或分子)发生电子的转移、交换或共有，形成吸附化学键的吸附。 特点：吸附热（吸附所涉及的力与化学键力相当）和不可逆性。 物理吸附：由吸附质和吸附剂分子间作用力所引起，也称作范德华力。吸附剂表面的分子由于作用力没有平衡而保留有自由的力场来吸引吸附质，由于它是分子间的吸力所引起的吸附，所以结合力较弱，吸附热较小，吸附和解吸速度也都较快。被吸附物质也较容易解吸出来，所以物理吸附是可逆的。吸附作用的大小跟吸附剂的性质和表面的大小、吸附质的性质和浓度的大小、温度的高低等密切相关。吸附质分子与吸附剂表面原子或分子间以物理力进行的吸附作用。 物理吸附特点：①气体的物理吸附类似于气体的液化和蒸气的凝结，故物理吸附热较小，与相应气体的液化热相近；②气体或蒸气的沸点越高或饱和蒸气压越低,它们越容易液化或凝结,物理吸附量就越大；③物理吸附一般不需要活化能，故吸附和脱附速率都较快；任何气体在任何固体上只要温度适宜都可以发生物理吸附，没有选择性；④物理吸附可以是单分子层吸附，也可以是多分子层吸附;⑤被吸附分子的结构变化不大,不形成新的化学键，故红外、