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_200mm太阳能电池用直拉硅单晶生长中导流系统的研究.pdf
第 29 卷 第 9 期 半 导 体 学 报 Vol . 29 No . 9
2008 年 9 月 J O U RN AL O F S EM I CON D U C TO RS Sep . ,2008
200mm 太阳能电池用直拉硅单晶
生长中导流系统的研究
任丙彦 褚世君 吴 鑫 于建秀 孙秀菊
(河北工业大学材料学院 , 天津 300 130)
摘要 : 利用数值模拟 ,对 CZ 硅单晶生长系统中导流系统调整和改进 ,得到不同导流系统下的氩气流场和全局温场. 研究发
现在导流系统中引入导流筒及冷却功能后 ,氩气流场得到明显的改善 , 晶体中纵向温度梯度均匀性改善 , 固液界面趋于平
坦 ,有利于结晶潜热的散发和单晶径向电阻率的均匀性. 研究表明改进导流系统能提高结晶潜热散发速率 ,有利于提高晶体
拉速.
关键词 : 数值模拟 ; 直拉硅单晶; 结晶潜热 ; 导流筒
EEACC : 0510
中图分类号 : TN 304 1+ 2 文献标识码 : A 文章编号 : 02534 177 (2008)
( ) ( )
进行了多步改造 , 具体为 : 1 复合式热屏; 2 复合式导
( ) ( )
1 引言 流系统 热屏与导流筒组合 ; 3 增强型复合导流系统
( )
热屏与冷却套筒组合 . 改造前后热系统如图 1 所示.
2 1 世纪 , 能源危机成为举世瞩 目的话题 , 全球化石
3 . 1 氩气流场数值模拟
燃料将出现生产和消耗的峰值 , 人类必须在此之前找到
新的替代能源[ 1] . 在此背景下,世界光伏市场发展迅猛. 为了对氩气流动进行定量分析 , 我们对氩气流进行
作为光伏行业的主导产品, 晶体硅太阳能电池占据了市 了数值模拟计算. 计算中氩气的入 口速度 、入 口温度作
场份额的 90 % , 其中单晶硅太阳电池的转化效率较高 , 为已知条件给出. 其他物理性质及参数如表 1 所示.
[2 ]
但其生产成本也高 . 降低单晶硅太阳电池的成本有两 炉 内氩气流为湍流 , 本文使用带旋流修正ke 湍流
个关键因素 : (
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