基于MEMS技术光学读出红外成像系统.pdfVIP

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2017-08-31 发布于安徽
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基于MEMS技术光学读出红外成像系统.pdf

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MEMS器件与技术 MEMSDeviceTechnology 基于MEMS技术的光学读出红外成像系统 1 2 2 2 赵捷吴文捷孔凡武王琨 , , , 云南东源煤业集团煤炭供销总公司昆明昆明软能科技公司昆明 ( , ; , 1. 650011 2. 650011) 摘要提出了一种利用悬梁式热感应薄膜阵列衍射光栅和图像重建技术来实现高灵敏光学读出 : 、红外成像的装置和方法与传统的光学读出红外成像技术相比该装置采用彩色设计来提。 , CCD 高系统灵敏度具有结构简单成本低廉的优越性适用于对速度指标要求不高的应用领域制 , 、 , 。备了试验结构并进行了红外测试证明在人体红外信号作用下悬臂自由端能产生较大幅度的偏 , , 转随之彩色读出了全可见光波长范围的颜色变化经估算系统的噪声等效温度差大大 , CCD 。 , 超过目前200mK的水平。关键词微机电系统光学读出热成像衍射光栅图像重建 : ; ; ; 中图分类号: ; 文章标识码: 文章编号: ( ) TN215 TP212.14 A 1671-4776 2008 01-0038-07 OpticalReadoutIRImagingBasedonMEMSTechnology 1 2 2 2 , , , ZhaoJie WuWenjie KongFanwu WangKun ( , , ; CoalSupplyandSellCompany,YunnanDongyuanCoalGroup Kunming650011 China 2.KunmingRanlens , , ) TechnologyCompany Kunming650011 China : Abstract AnopticalreadoutIRimagingapparatusbasedonhanghotinductionthinfilmarray, diffractgratingandimageregenerationwasintroduced.Comparedwiththetraditionaltechnology,the