一种压电驱动微操作器及其释放位置精度分析.pdfVIP

第 13 卷 　第 3 期 　 光学 精密工程 Vol . 13 　No . 3 2005 年 6 月 　　 　　　　　　　　　Op tics and Preci sion Engineering 　　　　　　　　　　 J un . 2005 ( ) 文章编号 　1004924X 2005 一种压电驱动微操作器及其释放位置精度分析 吴建华 ,褚家如 ( 中国科学技术大学 工程科学学院 ,安徽 合肥 230026) μ 摘要 :报道了一种利用压电陶瓷双晶片驱动的适用于尺寸在 20～200 m 之间微器件装配操作的微操 μ μ 作器 。夹持臂尖端直径约 15 m ,在 80 V 的电压驱动下闭合约 200 m 的距离 。通过理想操作模型分 析了微器件释放的位置误差来源和提高微器件释放位置精度的方法 ,并进行了高分子小球的排列和释 μ μ 放实验 。在相对湿度 50 %的环境下对直径约 170 m 的高分子小球的操纵中 ,实现了2 m 的释放位置 精度 。实验表明本微操作器能高精度地完成微器件的拾取 、移动和释放操作 。 关 　键 　词 :微操作器 ;位置精度 ;压电陶瓷双晶片 ;粘附力 中图分类号 : TP703 . 6 ; TN 384 　　文献标识码 :A Piezoelectric driven micromanipulator and its positioning accuracy analysis WU J ianhua , C HU J iaru ( S chool of E ng i nee ri ng S cience , Uni vers i ty of S cience an d ) Technolog y of Chi na , H ef ei 230026 , Chi na Abstract : A micro manip ulator driven by p iezoelect ric bimorp h wa s develop ed to a ssemble micro p art s μ μ 20～200 m in size . The manip ulator clo se s about 200 m w hile a driven volt age of 80 V i s app lied . μ The diamet er of gra spin g ar m tip s i s abo ut 15 m . The relea se po sitioning accuracy i s analyzed wit h a t heoretical mo del and t he met ho d s to obt ain high po sition accuracy are di scu ssed