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第五章 真空、等离子体 与刻蚀技术 5.1 真空与等离子体 主要内容 5.1.1 麦克斯韦分布和分子碰撞模型 5.1.2 气体的流动与传导率 5.1.3 真空压力范围与真空泵结构 5.1.4 真空密封与压力测量 5.1.5 等离子产生 5.1.1 麦克斯韦分布和分子碰撞模型 将气体分子作为硬球看待，速度的概率分布可由Maxwell的速度分布得 出，如下图。 3/ 2  m  2 2 mv / 2kT P(v) 42kT v e