基于原位水汽生成工艺栅氧化膜特性.pdfVIP

下载本文档

4
0
约5.27万字
约 6页
2017-08-31 发布于安徽
举报
版权申诉

基于原位水汽生成工艺栅氧化膜特性.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期半导体学报２９３犞狅犾．２９犖狅．３　　　　　　年月，２００８３犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛犕犪狉．２００８犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狕犪狋犻狅狀狅犳犌犪狋犲犇犻犲犾犲犮狋狉犻犮犝狊犻狀犗狓犻犱犲狊犵犌犲狀犲狉犪狋犲犱犫犻狀狊犻狋狌犛狋犲犪犿犌犲狀犲狉犪狋犻狅狀狔，，，１２３ ２犛狌狀犔犻狀犪狀犱犢犪狀犛狋犲狏犲犵犵（，，，）１犛犺犪狀犺犪犻犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犕犻犮狉狅狊狊狋犲犿犪狀犱犐狀狅狉犿犪狋犻狅狀犜犲犮犺狀狅犾狅犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狅犛犮犻犲狀犮犲狊犛犺犪狀犺犪犻２０００５０犆犺犻狀犪犵犳狔犳犵狔狔犳犵　（，，）２犌狉犪犮犲犛犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犕犪狀狌犪犮狋狌狉犻狀犆狅狉狅狉犪狋犻狅狀犛犺犪狀犺犪犻２０１２０３犆犺犻狀犪犳犵狆犵　（，，）３犌狉犪犱狌犪狋犲犝狀犻狏犲狉狊犻狋狅狋犺犲犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狅犛犮犻犲狀犮犲狊犅犲犻犻狀１０００４９犆犺犻狀犪狔犳狔犳犼犵　：（）犃犫狊狋狉犪犮狋犃狀犲狑狉狅犮犲狊狊犳狅狉犪狋犲犱犻犲犾犲犮狋狉犻犮犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狀犪犿犲犱犻狀狊犻狋狌狊狋犲犪犿犲狀犲狉犪狋犻狅狀犐犛犛犌犻狊狉犲狅狉狋犲犱．犅犪狊犲犱狅狀狋犺犲狆犵犵狆，犇犲犪犾犌狉狅狏犲犿狅犱犲犾犪狀狅狓犻犱犪狋犻狅狀犿犲犮犺犪狀犻狊犿犻狊狉狅狅狊犲犱狋狅犫狉犲犪犽狋犺犲犛犻－犛犻犫狅狀犱犫犪狀犪犮狋犻狏犲犪狋狅犿犻犮犗犪狀犱犳狅狉犿犪犛犻－犗狆狆狔－犛犻犫狅狀犱犱狌狉