列阵均匀照明系统的优化设计.pdfVIP

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列阵均匀照明系统的优化设计.pdf

9 4 Vol. 9,No. 4  199711 HIGH POW R LAS R AND PARTICL B AM S Nov. , 1997  丘 悦 邓锡铭 (, 800- 211, 201800)     , 、 , 。            (ICF) , 。, ⅠⅡ [ 1] , , , 。 。, , 。, , , , 。 。, [2] 。。 , 、 , 。 1  1. 1    ; , 。, , 。, , , N N , N 。, , 。, , 。, , , , , 。, , , 。   , , 。, ,, , * 863 1997428, 1997826。 , , 1965 12, , 508 9 。, , , , 。 Fn [3] : 2 d A 1 Fn = 4λB + R ( 1) , d; λ; A、B ABCD ; R。, R, 。 、 A B A = ( 1- z /f m ) ( 1- l/f a ) - z /f 0 , B = l( 1- z /f m ) + z (2) m ; a ; ;f f l , , ≈ m ,, ≈ m。 z z f z f [1], d、f m、f a W W= df m /f a (3) ( 1) 2 Fn ≈ d /4λf a = dW/4λf m (4) , 、 m , 。。 λW f d , 。, , 。, , 。 [4, 5]    , 4~ 7, 。7, , , 。。- Ⅰ, O200mm37, 500μm, 10. 5, 12% ; [ 6] 6, 22mm , 460, 5% 。 , 。, 。   - Ⅱ, , 。 - Ⅱ 250mm, 750mm, 800μm。 19, 12. 6, - Ⅰ。7, 20, 、。, 7, , 28, 。   , , 。 , 、, ; , 。 1. 2  4  : 509   , , , 。   , , 。, , , 。

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