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冯春不同底层AgTiCuPt对FePt多层膜磁性的影响.pdf
第 卷 第 期 稀 有 金 属
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不同底层( , , , )对[ ]多层膜磁性的影响!
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,
, , - , ,
冯 春 ,李宝河 ,滕 蛟 ,于广华
( 北京科技大学材料物理系,北京 ; 北京工商大学数理部,北京 )
,. ,///01 - . ,///12
摘要:利用磁控溅射的方法,在热玻璃基片上制备了[ ]多层膜,经不同温度真空热处理后,得到 有序结构的 薄膜( )。
)*+ ’( 3, )*’( 3, 4)*’(
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实验结果表明:[ ]多层膜结构可使 薄膜的有序化温度由 降到 , 退火 后其平行膜面矫顽力可达到
)*+ ’( )*’( 5// 6 15/ 6 15/ 6 -/ 7$8 9-,. 0
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· 。同时以 , , 和 做底层,利用[ ]多层膜结构制备了 薄膜,磁性和 射线衍射结果表明:与[ ]多层膜相比,
:! 7 ! #$ % ’( )*+ ’( ! )*’( )*+ ’( !
四种底层均没有进一步降低 薄膜的有序化温度,其中 做底层对[ ]多层膜退火后的平行膜面矫顽力影响较小,但能够提高其垂
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直磁各向异性;其他底层均会降低[ ]多层膜在高温退火时的平行膜面矫顽力,且对其垂直磁各向异性无改善作用。
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关键词: 薄膜;有序化温度;底层;多层膜结构
3, 4)*’(
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中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
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