光学式膜厚计 OPM-Z1(M06-A03AJ).pdfVIP

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M06-A03AJ OPM-Z1 取扱説明書 M06-A03AJ 来歴 Rev 日付 内容 1.0 2006.02.24 初版 M06-A03AJ 目次 1. 使用上のご注意1 2. 特長2 3. 性能3 4. システム構成図4 5. 設置6 5-1 設置場所 6 5-2 盤内の取り付け位置 6 5-3 接続7 5-3-1 電源配線7 5-3-2 接地 8 6. 各コンポーネントの説明 9 6-1 ファイバ投光器9 6-1-1 外観 9 6-1-2 各部の名称9 6-1-2-1 投光器両側面 9 6-1-2-2 投光器内部10 6-1-3 ランプ仕様11 6-1-4 チョッパモータ仕様 12 6-1-5 内部配線図13 6-1-6 消耗品の交換方法 14 6-1-6-1 ランプの交換方法 14 6-1-6-2 ランプソケットの交換方法 15 6-1-6-3 チョッパモータの交換方法 16 6-1-6-4 チョッパ板の交換19 6-1-7 ランプ使用上

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