多晶硅铸锭炉生产工艺控制技术和设备组84436.docVIP

多晶硅铸锭 多晶硅铸锭炉是太阳能光伏产业中，最为重要 的设备之一。它通过使用化学方法得到的高纯度硅 熔融，调整成为适合太阳能电池的化学组成，采用定 向长晶凝固技术将溶体制成硅锭。这样，就可切片 供太阳能电池使用。 多晶硅铸锭炉采用的生长方法主要为热交换法 与布里曼法结合的方式。这种类型的结晶炉，在加 热过程中保温层和底部的隔热层闭合严密，保证加 热时内部热量不会大量外泄，保证了加热的有效性 及加热的均温j生。开始结晶时，充入保护气，装有熔 融硅料的坩埚不动，将保温层缓慢向上移动，坩埚底 部的热量通过保温层与隔热层之间的空隙发散出 去，通过气体与炉壁的热量置换，逐渐降低坩埚底托 的温度。在此过程中，结晶好的晶体逐步离开加热 区，而熔融的硅液仍然处在加热区内。这样在结晶 过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度，有利于 晶体的生长。其特点是液相温度梯度dT／dX接近 常数，生长速度可调。 通过多晶硅铸锭法所获得的多晶硅可直接获得 方形材料，并能制出大型硅锭；电能消耗低，并能用 较低纯度的硅作投炉料；全自动铸锭炉生产周期大 约50 h可生产200 kg以上的硅锭，晶粒的尺寸达到 厘米级；采用该工艺在多晶硅片上做出电池转换效 率超过14％ 。 多晶硅铸锭炉融合了当今先进的工艺技术、控 制技术、设备设计及制造技术，使它不仅具有完善的 性能，而且具有稳定性好、可靠性高，适合长时间、大 批量太阳能