大面积多晶硅绒面的制备.pdfVIP

《半导体光电》2004 年第 25 卷第 3 期 孙晓峰 等 : 　大面积多晶硅绒面的制备 材料、结构及工艺 大面积多晶硅绒面的制备 孙晓峰 , 王海燕 , 卢景霄 , 李维强 ( 郑州大学 物理工程学院 ,河南 郑州 450052) ( ) 摘 　要 : 　采用酸腐蚀法 ,在小面积 2 ×2 多晶硅绒面制作的基础上 ,成功地在大面积 ( ) ( ) 10 ×10 多晶硅片表面上制作了绒面。利用扫描电子显微镜 SEM 观察其表面形貌并进行 反射谱测试 ,结果表明腐蚀比较均匀 ,表面减反射效果较好 ,加权反射率可以达到 5. 26 % ,其减反 射效果对入射光波长选择性不明