PZT纳米铁电薄膜生长行为和介电性能及微结构.pdfVIP

第 27 卷 第 5 期 电 　子 　显 　微 　学 　报 Vol27 ,No5 2008 年 10 月 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 200810 ( ) 文章编号 2008 PZT 纳米铁电薄膜的生长行为和介电性能及微结构 朱信华 , 朱健民 , 周舜华 ,刘治国 , 闵乃本 (南京大学物理系固体微结构物理国家重点实验室 ,江苏 南京 210093) ( ) ( ) ( ) ( ) 摘　要 : 采用溶胶 - 凝胶 solgel 自旋涂敷法在Si 100 基多孔氧化铝模版介质上制备了 Pb Zr053 Ti047 O