利用重离子束开展半导体器件单粒子效应探讨.pdfVIP

　第31卷第3期 原 子 能 科 学 技 术 . 31, . 3 V o l N o 　1997年5月 A tom ic Energy Science and T echno logy M ay 1997 利用重离子束开展半导体器件 单粒子效应的探讨 刘　杰　侯明东　马　峰　程　松 ( 中国科学院近代物理研究所, 兰州, 730000) 讨论了利用重离子研究宇航半导体器件单粒子效应(SEE) 时应重视的几个问题, 即空间辐射 环境中的重离子, 粒子辐射对半导体器件的影响和利用重离子束进行 SEE 测试, 以及重离子和质 子在器件单粒子效应研究中的关系, 最后介绍单粒子翻转重离子显微学。 关键词　重离子　单粒子效应(SEE) 　半导体器件 1　重离子引起的单粒子效应