铁电薄膜、多层膜及异质结构的研究.pdfVIP

物理990202 物理 Physics 1999年　 第28卷 　第2期　No.2　Vol.28　1999 铁电薄膜、多层膜及异质结构研究 朱信华　　刘治国 　　摘　要　　综述了铁电薄膜、多层膜和异质结构研究的新进展，分析了铁电薄膜 不同制备方法的优缺点.重点介绍了铁电薄膜在铁电存储器、微电子机械系统及热释电 红外探测器方面的应用.指出了目前铁电薄膜及器件设计研究需要重点解决的一些问题. 　　关键词　　铁电薄膜，多层膜，异质结构，制备，应用，薄膜器件 FERROELECTRIC THIN FILMS,MULTILAYERED FILMS AND HETEROSTRUCTURES Zhu Xinhua Liu Zhiguo (National Laboratory of Solid State Microstructures,Nanjing Univers