表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化.pdfVIP

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表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化.pdf

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 27 10 犞狅犾.27 犖狅.10             年 月 , 2006 10 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋.2006 表面应力测量犛犗犐压阻悬臂梁传感器设计与优化  庄志伟 王?篧 刘理天     (清华大学微电子学研究所,北京

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