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- 2017-08-31 发布于广东
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形成不同线条宽度,本实验对卷式生产方式曝光能量与显影后线条宽度的关系进
行了研究,实验步骤如下:
1. 取台虹的型号为 2LPSE0503MW-250 的单面无胶电解挠性覆铜箔层压板
20m(本实验只取用 3.2m,其余留待“蚀刻线速度对线路宽度和蚀刻系数影
响”研究用) 。
2. 采用杜邦的 FX915 型感光干膜,使用卷式自动贴膜机整卷贴膜,贴膜参数
为:
贴膜温度 100℃; 贴膜速度 2.4 m/min ; 贴膜压力 65psi
3. 采用 3.5.1 中测试菲林和卷对卷平行曝光机,进行手动式菲林接触曝光。曝
光能量分别为 80,110,150,200mJ ;每种曝光能量做 0.8m(相当于 5 张
160mm×250mm 大小的试板)
4. 放置 15min 后进行显影,显影参数为:
显影液温度 30℃; 显影线速度 3.85m/min; 喷嘴压力 0.4Kg/cm2
5. 用放大镜观察显影后的线条宽度,研究不同曝光能量对线条宽度的影响,
并从中选择最佳的曝光能量,使线路误差最小化。
3.5.3.2 蚀刻线速度对线路宽度的影响
为确定卷式生产方式
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