微粒在冷气动力喷涂中加速探讨.pdfVIP

第十五屆全國計算流體力學學術研討會 The 15th National Computational Fluid Dynamics Conference 微粒在冷氣動力噴塗中的加速探討 Particle accelerated for the cold gas dynamic spray process 盧昭暉 1 趙士傑1 1 國立中興大學機械工程研究所 摘要 在工業應用上，冷噴塗技術 (cold spray)目前的發展已有不錯地成果，其原理主要是利用噴嘴產生 超音速氣流加速微粒進行噴塗。相較於熱噴塗，在噴塗過程中微粒溫度一般低於本身的熔點溫度，使 能在塗層上避免氧化、脫碳等相變化。而過去的研究認為微粒在基板上的速度與溫度是形成塗層的因 素，故本文主要探討一些操作因素對於微粒在冷噴塗過程中的速度與溫度變化情形。 本文以銅為例，先使用 Fluent模擬二維軸對稱噴嘴內部與外部流場，接著探討微粒的幾何形狀與 粒徑對粒子加速的影響，最後改變操作參數，其中包括噴塗距離、載氣溫度、氣體種類對粒子加速的 影響。 計算結果顯示在噴塗過程中，氣流會在噴嘴內被加速，在噴嘴出口處產生一個正震波，在噴嘴到 鍍膜工件過程會有微弱的斜震波產生，最後在基板上，產生弓形震波(bow shock) 。本文歸納三種粒徑 範圍，大粒徑 (大於 15μm) 、中粒徑(1~15μm) 、小粒徑(0.5~1μm) ，並對於粒子在噴嘴出口處與鍍膜工 件上及臨界噴塗速度做探討，其結果顯示，在噴嘴出口處，粒子速度會隨載氣溫度與氣體種類改變而 增加，粒子幾何形狀對於大粒徑的加速有顯著的影響，對於小粒徑則無顯著的影響 ; 對於噴塗距離的 改變也無影響。在粒子到達基板上時，粒子速度亦隨著載氣溫度與氣體種類改變而增加，但對於粒子 幾何形狀而言，小於中粒徑非球型粒子的速度會低於球形粒子，而對於大粒徑的影響不大，改變噴塗 距離，從 1cm 到 9cm 逐漸增長，小於中粒徑的粒子在噴塗距離大於 7cm處會急速下降，而對於大粒 徑粒子則緩慢下降。臨界噴塗速度僅與載氣溫度有關，提高載氣溫度，可以降低粒子的臨界噴塗速度。 以本文的噴嘴為例，提高載氣溫度與改變載氣性質可以噴塗 1~10μm的銅粒子在銅基材表面上。 關鍵詞：冷氣動力噴塗、 de laval噴嘴、 bow shock 一.前言 的實驗則發現使用氦氣可提高銅粒子的速度，且 非規則形狀粒子的出口速度較球形粒子的出口 噴塗是製造薄膜的重要工法，在半導體產業 速度高，然而非規則形狀粒子的塗佈效率則較 中應用十分廣泛。噴塗又可分為熱噴塗與冷噴塗 低，而預熱粒子則又可以提高粒子的塗佈效率 兩種程序，熱噴塗包括火焰噴塗、電弧噴塗、電 [3] 。在冷噴塗中，噴嘴是重要的系統元件，利用 漿噴塗等，操作溫度相當高，雖然材料的附著性 CFD軟體分析噴嘴的設計參數已廣泛地被討 良好，但容易發生氧化，脫碳等材料改質的現 論，例如 T.C. Jen 等人分析微米與奈米粒子在流場 象。冷噴塗的溫度相對較低，微小噴塗粉末 (1~50 中的運動情形，因微奈米粒子慣性較小，提出在 μm)藉由噴嘴加速，達到相當高的馬赫數，撞擊 噴嘴出口使用電場或磁場加速微奈米粒子 [4-5] 。 在基材表面上形成塗層。在噴塗過程中粒子的溫 噴嘴的主要功能是將流體的壓力轉為速 度低於其熔點溫度，不會發生材料改質現象且塗 度，可產生高速的流體，在工業中應用相當廣 層性質表現可與熱噴塗相當，所以近幾年來很受 泛，例如V.K. Champagne 應用冷噴塗技術在國