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第 卷 第 期 西 安 交 通 大 学 学 报
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年 月
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文章编号： （ ）
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酸催化正硅酸乙脂溶胶 凝胶二氧化硅薄膜的制备
殷明志，姚 熹，李振荣，张良莹
（西安交通大学电子材料与器件研究所， ，西安）
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摘要：针对正硅酸乙脂（ ）溶胶 凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的
14’5
龟裂现象，通过控制14’5 水解条件，使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合，再水
解时能形成线状 粒状结构二氧化硅溶胶 水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结
9
合后，改变了二氧化硅的聚集状态，而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机 有机网状结构 通过该
9
工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜；所形成的二氧化硅薄膜结构均匀，厚度可控，表面致密，其折射
率为 ，热导率为 （·）
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关键词：正硅酸乙脂；溶胶 凝胶工艺；二氧化硅；薄膜
9
中图分类号：1I$B= 文献标识码：+
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