图像处理在高精度对准系统中应用.pdfVIP

2000 年 微 　细 　加 　工 　技 　术 №. 1 第 1 期 Microfabrication Technology 2000 文章编号 2000 图像处理在高精度对准系统中的应用 杨维全 ,陈伟明 ,胡 　松 ,刘业异 中国科学院光电技术研究所 ,成都 610209 摘要 :阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程。着重介绍图像处理 技术在高精度对准系统中的应用。并讨论系统应用中的图像处理算法。 关键词 : 图像处理;光刻机 ;对准系统 ;算法 中图分类号: TN305 ·7 ; TN91173 　　　文献标识码 :A 1 　引言 光刻技术是大规模集成电路制造技术和微光学 、微机械技术的先导和基础。对准系统是 光刻机的关键部件之一 ,因为对准精度直接影响光刻机的分辨力和重复套刻精度。光刻机的