微纳米尺度红外光热膨胀效应及新型光热驱动方法研究.pdfVIP

维普资讯 第 57卷 第 5期 2008年5月 物 理 学 报 Vo1．57，No．5，May，2008 2008／57 05 ／310706 ACTA PHYSICA SINICA ⑥2008Chin．Phys．Soc． 微纳米尺度红外光热膨胀效应 及新型光热驱动方法研究* 张冬仙 刘 超 章海军 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，杭州 310027 2007年 7月2613收到；2007年 10月 2731收到修改稿 介绍 了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器 ．驱动器 由两个宽细不 同的薄悬臂组成 ．当红外激光照 射在悬臂上时 ，宽窄悬臂的比表面积不同，导致其温度升高和伸长量不同，从而使驱动器产生偏转 ．建立了驱动器 的热力学模型，并给出了偏转量的计算公式 ．使用准分子激光加工系统制作了一个长 750u,m的微驱动器样机 ，红外 激光 998nm 作为驱动源 ，利用 自制 的控制监控系统进行 了可行性试验 ，观察并测量 了驱动器偏转量与红外激光功 率 的关系 ．结果表 明，本驱动器在 16mw 的红外激光的驱动下，即可产生25．8u,m的偏转量 ．利用光热膨胀的方法实 现的驱动器制作简单 ，位移输 出可调，无 电磁干扰，易于集成，并可 以实现远程控制 ，在微纳技术和 MEMS领域具有 广阔的应用前景 ． 关键词 ：光热膨胀 ，非对称结构 ，微驱动器，红外激光 PACC：6570，07IOC，4255，4283 限制 了其应用 ． 1．引 言 目前热驱动主要采用 电热驱动 。。方式 ．电热 驱动是利用焦耳效应 ，利用电路加热材料 ，以材料的 纳米技术是上世纪 80年代产生并迅速发展起 热膨胀作为驱动力的一种驱动方式 ．电热驱动的驱 来的一门新兴技术 ．随着纳米技术在诸如微电子 、光 动力和输出变形大 ，发展 比较成熟，但需要导线提供 学与精密机械 、生物细胞操纵和化学等领域迅速发 能源 ，且驱动电流较大 ，容易产生 电磁干扰问题 ，能 展 ，人们对微米级 、亚微米级 ，甚至是纳米级 的微驱 量利用率较低 ，无法实现远程控制 ． 动和定位技术提出了新的要求 J．微驱动器是一种 本文提出了一种新型的非对称结构的光热微驱 能够产生微米级运动 的微执行装置 ．目前应用较多 动器 ．利用物质 的红外光热膨胀效应 ，使用红外激光 的微执行方式主要有静 电驱动 、压 电驱动 ]、电 作为驱动源 ，提高了能量利用效率 ，简化了驱动器的 磁驱动 、形状记忆合金驱动 及热驱动等 ．静 电驱 结构 ，克服 了上述驱动器 的弱点 ，并且能够实现真正 动是利用静电场之间的静电荷库仑力进行驱动 ，压 意义上的远程控制 ． 电驱动是利用压电晶体的逆压 电效应通过外部施加 电场来产生伸长量变化 ，因而都要求较高的驱动电 2．红外光热膨胀效应 压 ．电磁驱动是利用励磁线圈中通 电产生 电磁场使 磁场中的导磁体产生运动 ，形状记忆合金驱动利用 根据原子物理 的理论 ，原子有不同的能级 ．它与 形状记忆合金的形状记忆效应产生驱动 ．以上各种 电子绕核的不同运动状态相对应 ．同样分子也有其 驱动方式各有优缺点 ，并广泛应用在不同的工作环 不 同能级 ，这些能级对应的能量都是量子化的，符合 境和科技领域 ，但是它们往往结构复杂 ，无法