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第17卷第6期 光学精密工程 V01．17No．6
andPrecision
2009年6月 Optics Engineering Jun．2009
文章编号1004-924X(2009)06-1385—06
采用环形岛棱结构的电容式压力传感器
邹黎明，郭 航
(厦门大学萨本栋微机电研究中心，福建厦门361005)
摘要：改变传感器可动极板的结构是解决MEMS电容式压力传感器信号输出与压力输入呈非线性关系问题的方法之
一。设计了一种新型结构电容式压力传感器，其可动极板是LPCVD氮化硅构成的一个方形薄膜，薄膜中心到边缘之间
由PECVD氧化硅构筑一个环形岛棱，使可动极板在压力负载下的变形趋于平整，减小了边缘杂散电容带来的非线性，
从而改善了该传感器的输出特性。利用有限元方法分析了不同尺寸的动极板在不同外加压力作用下压力与形变的关
系。以及相应的应力分布情况，并采用最dx--乘拟合直线法计算了压力传感器的线性度。分析结果表明，与常规的双极
板微型电容式压力传感器相比，新型结构压力传感器的线性度改善了48．38％，达到了1。6％。
关键词：微机电系统；电容式压力传感器；线性度；有限元法
中图分类号：TP212．12文献标识码：A
structure
sensorwithcircularisland
Capacitivepressure
ZOU
Li—ming，GUOHang
SahMEMSResearchCenter，Xiamen 361005，China)
(Pen-Tung University，Xiamen
Abstract：A sensorwithanewmovableelectricstructureis toim—
capacitivepressure plate presented
the ofaMEMS-based sensor．Themovableofthe
proveoutputnonlinearity capacitivepressure plate
sensorisfl madeof a circularislandisadded
memranceLPCVDsiliconnitridefilm，and
rectangular
fromthecentertothe ofthemembrane and a ofPECVDsilicondi—
by
edge depositingpatterninglayer
oxide．Withthisstructure。thedeformationofthemovableofthe sensorwill
plate capacitivepressure
tendflatwhen a of thatthe nearthe
to load of
applying pressure，80nonlinearitystraycapacitance
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