标量矢量网络分析仪同轴测量系统.pdfVIP

标量/矢量网络分析仪同轴测量系统 RF A B H τ T DUT 电桥 D校准件 N型 0-4G 【系统组成】 序号 产品名称 产品型号 数量 主 要 参 数 1 标量网络分析仪 PNA3610 1 30-3000MHz Opt. 矢量网络分析仪 PNA3620 1 30-3000MHz 2 反射计电桥 HD-32CBRIG 1 方向性：40dB 3 N 型同轴校准件 HD-40VNACKN 1 套 短路/开路器；匹配负载；连接件等。 4 电缆 2 5.11 网络分析仪波导和同轴校准组件、检验工具箱 矢量网络分析仪（VNA ）在测量时，需要对测量系统进行精密校准。HD 与仪器厂家合作提供波导校 准组件和同轴校准组件。 HD- 波导和同轴校准组件，包含矢量网络分析仪测量时 12-项误差修正所需要的所有精密波导和同轴 校准元件。选件还提供了全波导带宽的高方向性耦合器、滑动负载、失配负载、精密波导段、波导固定衰 减器等元件。可与任何型号的矢量网络分析仪配用。波导频段覆盖：BJ-14 至 BJ-900 ；频率覆盖：1,100 MHz – 110,000 MHz 。波长覆盖：300 – 3 毫米。 5.11.1 校准类型 现在的网络分析仪都具有极强的处理能力和灵活性，针对特定应用的许多校准方法也随之涌现出来。 但是，常用的校准技术有三种：SOLT （短路－开路－负载－直通）、TRL （直通－反射－线路）和ECal （电子校准）模块。 在每一种校准技术中，通常又针对特定的测量要求（如宽带频率或晶圆上探测）分成不同的校准方法。 表 1 中列出了这些常用的校准技术及其各自的主要优势。 367 网络分析仪中的系统误差 H D 图 1 表示出典型网络分析仪中的系统误差来源。主要包括六类系统误差：方向性误差、隔离误差、源 失配误差、负载失配误差、反射跟踪误差和传输跟踪误差。 精确的相位测量和幅度测量功能使得 VNA 能够精确地计算所有的误差来源。方向性误差会影响反射 测量的精度。隔离误差会影响传输测量的精度。源失配误差和负载失配误差影响反射测量和传输测量的精 度。且与被测件和分析仪测量端口阻抗之间的失配有关。反射跟踪误差和传输跟踪误差与分析仪的参考接 收机和测量接收机的频率响应差异有关，分别影响反射测量精度和传输测量精度。 5.11.2 SOLT校准 大多数网络分析仪用户最先熟悉的校准方法是 SOLT 。SOLT 校准能够提供优异的精度和可重复性。 这种校准方法要求使用短路、开路和负载标准校准件。如果被测件上有雌雄连接器，还需要分别为雌雄连 接提供对应的标准件，连接两个测量平面，形成直通连接。 SOLT 校准方法使用 12 项误差修正模型，其中被测件的正向有 6 项，反向有 6 项。图 2 显示了正向 误差项：ED （方向）、ES （源匹配）、EL （负载匹配）、ERF （反射跟踪）、ETF （传输跟踪）和EX （串 扰）。操作正确的话，SOLT 可以测量百分之一分贝数量级的功率和毫度级相位。常用的校准套件中都包