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第26 卷 第 12 期 Vol. 26 No. 12
2005 年12 月 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCT ORS Dec. , 2005
Broyden
孙 霖 杨文伟 向采兰 余志平 田立林
( 清华大学微电子学研究所, 北京 100084)
: 利用Broyden 算法, 通过自洽求解一维半导体量子线的电子浓度分布和电势分布, 和常用的牛顿法以及逐
次超松弛( SOR) 法相比较, 确认了Broyden 算法的收敛结果正确, 并减少了达到收敛的迭代步数, 是对于薛定谔方
程和泊松方程组成的非线性方程组系统自洽求解的有力工具.
: Broyden 算法; 薛定谔方程; 泊松方程; 自洽求解
EEACC: 2530F; 2560B
: TN3 : A : 0253-41 (2005) 12-2344-06
为复杂、初始猜解和收敛结果相差较远时, 易出现薛
1 定谔方程和泊松方程的耦合出现很大的迭代误差,
甚至造成发散而使求解失败的现象.
根据最新的 2004 年国际半导体技术蓝 图 因此提高自洽求解薛定谔和泊松非线性方程组
( ITRS) [ 1] 预测, 2005 年微处理器( microprocessor 的可靠性与速度, 对于量子器件的模拟具有十分重
unit, MPU ) 的物理栅长为32nm, 而 2010 年仅为 要的意义. 国内外针对此问题进行了许多研究, 例
[ 3]
18nm. 器件的尺度已经接近或小于电子的平均自由 如, 利用变尺度的方法加快收敛性 . 近来国外有学
[ 4 ]
程. 电子的输运可以看作是弹道输运( 电子无散射地 者 利用文献[ 5~ ] 中的Broyden 算法来研究薛定
穿过器件) 或准弹道输运( 电子在穿过器件时只散射 谔和泊松非线性方程组耦合求解器件输出电流. 本
一次或几次) [ 2] . 文首次利用Broyden 算法来研究一维纳米线的电中
这种量子输运将使纳米半导体器件具有与通常 性问题. 完成了电中性条件下一维量子线的泊松和
半导体器件不同的特性, 电子的波动特性必须加以 薛定谔的加速求解, 为二维弹道输运量子器件模拟
考虑, 在电磁波( 包括光波) 中常见的干涉、相干的现 提供了良好的边界条件.
象也会在电子的输运中表现出来. 因此基于量子力
学的数值模拟技术在量子器件性能的求解与计算机 2 Broyden
辅助设计方面正起着愈来愈大的作用. 量子输运模
型和计算机模拟对新器件概念的理解与开发新纳米 牛顿迭代法是求解非线性方程组常用的迭代算
功能器件有着重大的指导意义. 法, 它的思想在于将非线性方程组逐步线性化, 从而
量子效应的引入, 不仅使器件物理机制更加复 将非线性方程组求解转换为线性方程组的求解. 在
杂, 也显著增加了数值计算的复杂性. 对薛定谔方程 牛顿法中, 需要计算雅可比矩阵及其逆, 但是其逆矩
的处理常伴随着大规模稀疏复杂矩阵运算, 矩阵特 阵可能不存在, 使得牛顿法无法进行. 而且, 牛顿算
征值和特征向量的求解, 使得数值模拟时间和空间 法初始点的选取只能在真实解的适当领域内, 否则
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