湖南大学金属功能材料第5章 金属薄膜材料.pdf

第5章金属薄膜材料 Metallic Film 主讲老师 ：严红革 引言 金属薄膜 分类  非金属薄膜 硬质薄膜  声学薄膜 热学薄膜  金属导电薄膜 物性 半导体薄膜 超导薄膜  介电薄膜  磁阻薄膜 光学薄膜 薄膜应用 ：薄膜材料及相关薄膜器件兴起于20 世纪60年代。是新理论、高技术高度结晶的产物。 主要的薄膜产品：光学薄膜、集成电路、太阳能 电池、液晶显示膜、光盘、磁盘、刀具硬化膜、建 筑镀膜制品、塑料金属化制品。 薄膜是现代信息技术的核心要素之一： 薄膜材料与器件结合，成为电子、信息、传感器、 光学、太阳能等技术的核心基础。 一、金属薄膜的形成及其结构 金属薄膜是由蒸发原子凝聚或附着于基片上形成 的，金属薄膜既能形成多晶薄膜，也能在某一条件 下形成单晶薄膜。金属薄膜原子排列是否有序，取 决于蒸发原子在基片上的迁移。这个运动状态受到 蒸发原子之间相互作用和蒸发原子与基片间的相互 作用，以及基片温度等因素的影响，其结果导致了 薄膜的不同生长过程和不同的结构。 1. 薄膜的形成模型 薄膜的形成: 形成稳定核(在捕获区) ⇒ ⇒ ⇒ 单体吸附形成小原子团形成临界晶核  形成临界核(非捕获区) 大尺寸岛大尺寸岛接触形成沟道薄膜  ⇒小岛⇒ ⇒ ⇒ 二次成核二、三次成核二、三次成核  （在新面积处） 连续薄膜 ⇒ （在沟道和孔洞处） 三次成核 小岛成核 核长大 结合 沟道 孔洞 连续膜 薄膜形成过程描述 吸附过程 吸附是薄膜形成的最初阶段。在沉积过程中蒸气 原子与衬底相遇时产生吸引。 进行吸附时，蒸气原子或分子和衬底的总能量降 低，所放出的热量为吸附热。 吸附方式：物理吸附、化学吸附。 吸附是动态过程。若原子动能超过吸附能，则会 从衬底脱离。吸附原子在衬底表面的平均驻留时间 受吸附能大小和衬底温度的影响。吸附能大则容易 吸附，衬底温度高则不易吸附。 成核过程 当蒸气原子到达衬底表面，通过吸附作用形成原 子团簇，称为成核过程。晶核的大小与成核条件有 关。根据透射电镜观察研