微量水对PECVD方法制备碳纳米管形貌影响.pdfVIP

微量水对PECVD 方法制备碳纳米管形貌的影响 张春梅，边心超，陈强，付亚波，张跃飞 （北京印刷学院等离子体物理与材料研究室，北京，102600） 摘要：利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术，在蒸镀有25nm Ni 催化剂层的 Si 基片上，以CH4 和H2 作为反应气体，在700℃下制备了碳纳米管，并研究了微量水的引 入对碳纳米管形貌的影响。SEM 结果表明，不加水时，制备出的碳纳米管直径不均匀，分 布在 40-90nm 之间，且表面粗糙，呈链节状的结构；当加入少量水时，制备出的碳纳米管 直径变得均匀，为70nm 左右，表面变为瘤状结构；当水的流量进一步增加时，得到的碳纳 米管出现了枝状结构。原位观测了加水前后等离子体区的发射光谱，并对纳米管形貌变化的 原因进行了初步的分析。 关键词：碳纳米管；介质阻挡放电；水 中图分类号：O53 1 引言 [1] 自从1991 年Iijima 发现碳纳米管以来 ，由于其良好的电学、力学、热学等特性以及 在微传感器、场发射平板显示器、复合材料等领域广阔的应用前景[2-4] ，碳纳米管的相关研