TiN_TiC和Ti_C_N_涂层性能及影响因素的研究.pdfVIP

TiN, TiC和 Ti( C, N)涂层的性能及影响因素研究 唐达培 , 高 　庆 , 江晓禹 (西南交通大学应用力学与工程系 , 四川 成都 　6 1003 1) [摘 　要 ] 　TiN 和 TiC 同属于 N aC l形式的晶体结构 ,是同构互溶性的。Ti (C, N )是两者的固溶 体 。TiN 和 TiC及 Ti (C,N )涂层具有优 良的力学和摩擦学性能 ,作为硬质耐磨涂层 , 已用于切削刀 具 、钻头和模具等场合 ,具有广泛的应用前景 。综述了国内外关于这 3种涂层的研究成果 。研究了影 响其性能的若干因素 , 比较了它们的性能差异 ,为进一步优化涂层的性能及合理地选用涂层提供了参 考 。进一步的研究方向是高 、低温及恶劣环境下涂层的性能以及更大载荷下涂层的摩擦学性能等 。 ( ) 一些重要结果如下 : 1 对 TiN 涂层而言 ,用 CA PD 比用 CA IP制备时 ,涂层的摩擦因数小 、结合强度 大 、硬度小 ;脉冲电压从 550 V 增大到 750 V 时 ,涂层脆性增加 、结合强度减小 ;在多弧离子镀工艺中 , ( ) 500 ℃是最佳沉积温度 ,此时涂层的硬度和结合强度均最大 。 2 对用反应磁控溅射制备的 TiC 涂层 而言 ,用 C H 比用 CH 制备时 ,涂层的硬度大 ; CH 分压在 0. 02 ～0. 04 Pa 范围内为最佳 ,此时 TiC 2 2 4 4 ( ) ( ) 涂层的硬度和弹性模量最大 ,分别是 30. 9 GPa和 343. 0 GPa。 3 对 Ti C, N 涂层而言 , 随 CH4 : N2 或 C H : N 流量比的增大 ,其硬度增大 ; CH : N 分压比对摩擦因数和磨损量的影响还与载荷的大小 2 2 2 4 2 有关 ; TiC N 涂层的硬度和弹性模量随 x 值而变化 ,当 x 为 0. 6 左右时 ,硬度取最大值 45 GPa,当 x x 1 - x 值为 0. 43左右时 ,弹性模量取最大值 630 GPa。 [关键词 ] 　涂层 ; TiN ; TiC; Ti (C,N ) ; 性能 ; 影响因素 ; 硬度 ; 摩擦因数 [中图分类号 ] TG174　 [文献标识码 ] A 　 [文章编号 ] 100 1 - 1560 (2005) 03 - 0042 - 05 0　引　言 成分在 20 世纪 80 年代已开始研究[ 9, 10 ] 。迄今为 止 ,对于 TiN , TiC及 Ti (C,N )涂层的性能进行了大 TiN 涂层具有硬度高 、韧性好 、结合强度高 、摩 ( 量研究 ,发现涂层的组分 、厚度及工艺条件 如沉 擦因数小和化学性能稳定等优点 ,作为涂层用于加 ) 积温度 、速度 、压力等 对涂层性能有较大的影响 , 工刀具大大提高了其使用寿命和被加工产品的质