几种新型超硬薄膜研究进展.pdfVIP

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几种新型超硬薄膜的研究进展。 张生俊 陈光华 邓金祥 宋雪梅 邵乐喜 (北京工业大学材料学院 救育部薪型功能材料重点实验室 北京 100022)(湛江师范学院物理系 湛江5240@)) 摘要 超硬材料主要由Ⅲ,Ⅳ,V旗共价键化台物(碳化物、氮化物)和单质(金刚石)组成,硬度高于40GPa,有单 晶、多晶、非晶等多种除盆刚石外.这些材料都是人T合成的,没有天然对应物除超硬性质以外,这些材料大都具有 宽带隙、高温稳定性、化学惰性等优良的物理化学性质新型超硬薄膜材料研究从金刚石开始,目前主要的研究对象 方向之一文章结合作者近年来的工作,介绍这几种超硬薄膜的研究进展和展望. 关键词 超硬材料.金剐石,立方氮化硼.氰化碳,类金刚石碳 NOVELSUPERHARDFⅡ。MS DENG Xue-Mei ZHANG CHEN SONG Sheng-JunGumlg—Hua Jin—Xiang (School 100022,c榀m) ofM,n,a止Scie删andEn酽w叽增,&F坩PolytechnicUnlvemgy,&弭,lg Le—Xi SHAO (mpⅧ矿HpⅫ.Zha可/angNccma//nst/tute.‰,帆524000.Ch/na) Abslract rrlakials.definedas amicrohardness attractedextensiveinterest Superbard having exceedin940GPa.have axe of of and/or elemental for V(carbidesandrdtrides)and decades.TheycomposedcompoundsgroupⅢ,IV cIystM be methodsOther fordiamond,allthesematerialscall artificial (diamond)Except only synthesizedby interesting of includetheirwideband under andchemicalineFtncssCur— thesematerials properties gap,stabilityhightemperature rentrehashonthesematerialsconcentratesondiamond,cubicboronnitride(cBN),carbon nitride(C3N4,CN;),ho— IXIII diamond—likecarbon(DLC)Areviewis ofthe andfutureoftheseinter— earbanitride(BCN)and

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