金属氮化物硬质膜层_合金化_研究进展.pdfVIP

第 29 卷 第 5 期 沈 　阳　工 　业 　大 　学 　学 　报 Vol 29 No 5 2 0 0 7 年 1 0 月 Journal of Shenyang U niver sity of Technology Oct . 2 0 0 7 文章编号 : 1000 - 1646 (2007) 05 - 05 13 - 06 金属氮化物硬质膜层“合金化”的研究进展 宋贵宏 , 靳 　伟 , 李 　锋 , 陈立佳 (沈阳工业大学 材料科学与工程学院 , 沈阳 110023) 摘 　要 : 通过展示近年来国内外金属氮化物膜层的研究结果 ,探究了膜层晶体结构 、微观组织的变 化规律和提高性能的途径 ;列举了大量文献进行分析. 结果表明:添加 C 或 B 元素 ,可形成“替位 式”的金属氮碳化物或氮硼化物膜层 ,具有明显的固溶强化效应 ;大部分氮硼化物膜层 ,都可生成 细小的金属硼化物 ,对性能的提高非常有力 ;加入 Si 可以细化晶粒 ,提高膜层的韧性和耐磨性. 在 ( ) TiN 和 CrN 膜层中加入金属合金化元素 如Al 、Zr 等 ,除具有明显的固溶强化效应外 ,还能显著提 高膜层的高温氧化阻力和腐蚀阻力 ,提高膜层的耐磨性. 沉积膜层的显微组织结构 ,可以通过调整 “合金化”元素的比率来改变 ,并由此可以对膜层性能进行调制. 通过“合金化”,金属氮化物膜层的 晶体结构 、微观组织都可以调制 ,综合性能显著改善和提高. 关 　键 　词 : 硬质膜层 ; 氮碳化物 ; 氮硼化物 ; 多元金属氮化物 ; 抗氧化性 ; 耐磨性 中图分类号 : TB 43 　　　文献标识码 : A Development of alloyed metal nitride hard coating SON G Guihong , J IN Wei , L I Feng , CHEN Lij ia ( School of Materials Science and Engineering , Shenyang University of Technology , Shenyang 110023 , China) Abstract : Recent develop ment of met al nit ride coatings was reviewed . The cryst al lattice and micro st ruct ure of depo sited coatings as well as t he measure to imp rove p roperties were investigated . A large amount of references were analyzed . The addition of eit her C or B element to t he binary met al nit ride coatings leads to t he formation of met al carbonit ride or met al carboboride coatings , which have t he obvious solid solution st rengt hening effect . For t he met al carboboride coatings , lar