多线切割用砂浆悬浮机理的研究.docVIP

多线切割用砂浆悬浮机理研究 ??????? 多线切割过程中的碳化硅在油性悬浮液中的分散性，决定着硅片的质量及切割过程中的稳定性，通过对PEG分子结构和键能的研究，强极性键使整个PEG为高度极化分子，在极性键中最容易失去-OH中的H，和表面配位不足而产生极性电荷碳化硅进行结合。碳化硅的等电点在PH=3.9附近，当砂浆的PH值在不同的范围，碳化硅表面的电荷类型和电荷密度不同，从而PEG对碳化硅的饱和吸附量将出现差别。影响饱和吸附量的主要因素有：PH值，PEG分子链的长短，碳化硅的比表面积。影响碳化硅的ZETA电位的主要因素有，PH值，分散剂的类型和添加比例，固相体积分数的大小。 　　国际绿色能源工程的飞速发展和世界范围内的能源危机使国际市场上的硅光电源出现了历史性的发展。随着国际硅光市场的飞速发展和科学技术的进步，对太阳能硅片的质量提出了越来越高的要求。目前成本问题是制约太阳能光伏电池大规模应用的瓶颈，而硅片的成本约占整个制程成本的50%，在硅片加工成本中，砂浆成本占了50%以上，因而控制提高砂浆的悬浮性能，减少砂浆用量成为必然的发展趋势。 　　多线切割是利用并排的钢丝在运动过程中将切割用砂浆带入硅块切割缝隙中，通过砂浆中磨料的滚磨作用将硅块加工成硅片的过程。在切片机，人员操作稳定的情况下，硅片加工的质量和切割过程中的稳定性主要取决于砂浆能力。故本文将阐述碳化硅在PEG中的悬浮机理，通过工艺控制来获得最佳悬浮性能的砂浆，进而减少砂浆用量，降低硅片加工成本。 ?　　一、PEG理化性能 　　目前PEG仍是多线切割用砂浆的主流悬浮液。在粘度指标上，以PEG200为最佳悬浮液。 　　PEG主要性能：无毒、无刺激性，具有良好的水溶性，并与许多有机物组份有良好的相溶性。具有优良的润滑性、保湿性、分散性、粘接剂、抗静电剂及柔软剂等。多线切割中主要应用到其润滑性和分散性。 　　分子式:HOCH2(CH2OCH2)nCH2OH 在PEG200中，n=3，一般是4个分子的聚合. 由环氧乙烷聚合而成。 ?　　1、 PEG的粘度和温度关系粘度是用来衡量液体流动性的指标，PEG的粘度会随温度的改变而变化，下面是国外某厂家生产的PEG的测试结果。?????????????????????????????????????? ?????????????????? 　　 ??????? 如图1-1 所示，随着温度的升高，PEG200的粘度随之而降低，从20到30，粘度剧烈下降。从30到50，粘度的变化则稍稍缓和。切片温度一般都控制在20-30之间，而在这个区间内，粘度值在40-50mpa.s。 液体的粘度来自分子引力，温度升高，分子间的距离加大，分子引力减小，内摩擦减弱，粘度就降低，图1-1和图1-2都有相同的趋势。 ??????????????? ????? ??????? 如图1-2所示，温度较低时，升温和降温过程的粘度曲线并不重合，粘度并不完全弹性恢复。这主要是由大分子的驰豫和热平衡破坏引起的。 　　0~50°C为悬浮液的最佳工作温度。粘度太高，容易造成SIC颗粒与切屑的相互粘结，增大切割阻力和表面损伤。粘度太小，携带SIC颗粒能力差，切割力小，切割效率低。 ?　　2、PEG的PH值和温度关系 　　PH值决定SIC表面电荷的类型和密度，对静电分散作用起决定性作用。PEG的PH值会随温度变化而变化，下面是对国内某厂家的悬浮液，进行测试结果。 在PEG分子结构中，最活泼的为羟基中的氢，随着温度的上升，内能增加，分子布朗运动变得剧烈，从而非常容易失去羟基中的氢，使PH降低。如图1-3所示，不论是升温度曲线还是降温曲线，随着温度升高，PH都有降低的趋势。整个PEG呈弱碱性。 ?????????????? ?????? ??????? 3、PEG分子结构中化学键分析 　　在PEG中存在的化学键有C-OH、O-H、C-O-C、C-H和C-C 其中C-O,C-H,O-H为强极性键,整个PEG分子本身不带电,但是其是高度极化的原子团.在分子中的键能排列: O-HC-OH C-O-C 在砂浆中,PEG链最容易失去O-H键中的H,其次是羟基-OH。??????? 二、SIC的理化性能 ??????? SIC的原子排列结构有如类似金刚石的正四面体结构，具有非常高的稳定性。碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。目前我国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。碳化硅的硬度很大，具有优良的导热和导电性能，高温时能抗氧化。因而成为优良的多线切割用磨料。 ? 　　　　 　??? 用于多线切割用的SIC,一般粒径在9-12左右，颗粒形状为