一种实用的单晶炉提拉速度控制系统.pdfVIP

维普资讯 电气传动 2001年 第 4期 一 种实用的单晶炉提拉速度控制系统 浙江2c．业史学 袁南儿 刘勤贤 摘要：支章提出了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 该系统结枸简单、造价低 宴测表明．系统的性能 满足生产要求 ．现已菝得成功应用井授^批量生产。 关键词：单晶炉 提拉速度 速度控制系统 A PracticalSpeedControlSystem forSingle·crystalFurnaceLiftingM echanism YUODNaner L[uQinxian Abstract}Thispaperproposesaprecticalspeedeomralsystem forsinglecrystal(uyna~~liftingmechanism Thesystem hassimple stru l。nandI。’e nnaI￡o5tTh}expe*imema[perfor~ neeshowsthatc system canmeetthedemandofthepractical… n hasbeenappliedinproductionandm… ct— d inseries Keywords{singlecrysL~[furnace liftingspeed speedcontrolSystem 在于当提拉负载增大引起线速度为零时，提拉杆 l 前言 能保持其最后位置而不上下滑动．也就是说在整 半导体材料是半导体工业 的基础材料 ．在半 个调速范 围内，当驱动 电机堵转时，还必须能输出 导体材料中用量最大和用途最广的是半导体硅 足够大的力矩(经实际测算约为 2．5N ·m)。 当今 95 以上的半导体器件是用硅材料制造的， 99 以上的集成电路是硅集成电路 。生产集成 电 路所需要的单晶硅 ，是在硅结晶生长开始时．用低 — 速提拉、生长过程均速提拉的办法制成的。提拉速 度的控制性能将直接影响到晶体的质量 当今，随 着 IT产业 的迅速发展 ，单 晶硅生产市场需求剧 增，研制一种满足工艺要求 、低成本的提拉速度控 圈 1 单 晶炉提拉过程不意 圈 制系统具有重要的实际意义。 3 单晶炉提拉速度控制系统 本文结合某单晶炉产品的研制，设计 了一种 实用的单晶炉提拉速度控制系统，并在实际生产 图2给出了一种实用的单晶炉提拉速度控制 中获得成功应用。 系统。它 由驱动电动机组 、功放 ·控制电路 2部分 组成 图3是它的静态方框图。 2 设计 的关键 3．1 驱动 电动机组 图 1示出了单 晶炉提拉的工艺过程 。提拉控 按图3，不难推导出稳态时电机转速为 制系统的驱动电机转速 经减速器 齿轮齿条减 一 一器 丽 。 ㈩ 速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺、 式中 一 直流力矩 电机的静态增益 ， 要求提拉速度 能在 (0．2～10．0)mm／h内无级 r ·rain一 ／V 调节，它相对于给定信号的线性精度±2 。经