气体传感器最新进展.pdfVIP

2009年 仪表技术与传感器 2009 增刊 Instrument andSensor Technique supplement 气体传感器的最新进展 卢革宇，全宝富，张彤 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春130012) 摘要：文中将综述气体传感器的最新进展。重点介绍半导体氧化物传感器、固体电解质传感器和使用纳米材料的新 型气体传感器的发展动向。此外还将概述日本企业的研发动向。 关键词：气体传感器；氧化物半导体；固体电解质；纳米敏感材料 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增一0134—03 inG嬲Sensor Progress Technology LU Tong Ge-yu，QUANBao-fu，ZHANG on ofElectronic (StateKeyLaboratoryIntegratedOptoeleetroni璐，College Scienceand Engineering，Ji．nUniversity，Changchun130012，China) in is onadvancesof sensors Abstract：The 8eil80r overviewed progressgas technology briefly，byputtingemphasis gas ufigzing andnanomaterials．RDofsome werealsointroduced． semiconducfingoxides，solidelectrolytes comp幽inJapan Keywords：gassensor；semiconductingofide；solidelectrolyte；nanomaterials 0引育 感知功能、变换功能和敏感体的利用效率。感知功能主要是由 人类生活在充满各种气体的环境中，有些是人类生存、生 表面的氧化还原特性、酸碱性、表面修饰和吸附特性等来实现 活和生产活动所必须的，例如，氧气和煤气(包括天然气和液 的。变换功能与载流子浓度、掺杂以及晶粒尺寸密切相关，当 化石油气)；有些是危害人类生存和健康的气体，例如，燃烧 粒径和空间电荷层的比小于2时，灵敏度急剧上升，这种现象 排气中的NO。SO。和室内建材挥发出的有机气体；还有一些称为一次晶粒效应【101。敏感体利用效率可通过有效地控制敏 是人类生存所必须的，但过量发生又会威胁人类的气体，最典 感材料的反应性和扩散性来实现¨”。 function 型的就是CO：。检测气体的种类和浓度需要高性能气体传感 Ihe,m)tor 器。可以基于许多原理和效应设计气体传感器，例如，红外吸 。鲠彤～溉啊 收、表面声学波、热传导、燃烧热、化学吸附或反应以及电化 Tramut,脯rftUlt—iOn ^^or口【bn一02,ttD,·· 学反应等，由于基于化