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加工、测量与设备
and
Processing，MeasurementEquipment
纳秒激光电化学复合掩模的微细加工
王耀民，张朝阳，李中洋，毛卫平
(江苏大学机械工程学院。江苏镇江212013)
摘要：在激光传输光路中加入掩模对激光束进行空间调制，采用纳秒脉冲激光器、纳秒脉冲电源
和1
不锈钢阳极电流随平均电压的变化规律；选用平均电压1．5V、脉冲频率2．OMHz、脉冲宽度
60
ns、激光能量160mJ的工艺参数。在所构建的试验系统中，分别进行了激光电化学复合掩模
和盐溶液中的激光掩模加工试验。结果表明；在阳极钝化区内，纳秒脉冲激光电化学复合加工能
够显著提高加工速率和加工表面质量，实现了线宽约为130“m、热影响区小的微细刻蚀加工，
证实了纳秒脉冲激光电化学掩模加工在微细加工中具有很大潜力。
关键词：纳秒脉冲；激光电化学；复合加工；掩模；微细加工
NanosecondLaserElectrochemical
Compound
Microfabrication
Masking
Yaomin，ZhangZhaoyang，LiZhongyang，MaoWeiping
Wang
(School 212013，China)
tTlask
modulationeffecton】aserwasachieved the intothetransmis·
Abstract：Thespatial byintegrating
sion forthe304stainlesssteelwasstudiedwiththenanose—
opticalpath．Themicro-machiningprocess
cond and of1
laser，nanosecond NaN03electrolytemol／L．Thechange
pulse pulsepowersupply
oftheanodecurrentforthe304stainlesssteelwiththe ismeasuredthevoham—
voltage by
average
method．Inthefounded laserelectrochemical
metry experimentalsystem，the compoundmasking
andthelaser inthesodiumnitratesolution
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