LaMg2Ni合金薄膜氢致光电性能变化及形貌的研究.pdfVIP

LaMg Ni 合金薄膜的氢致光电性能变化及其 2 形貌研究1 方方，张晶，朱健，郑时有，陈国荣，孙大林* 复旦大学材料科学系，上海（200433 ） E-mail ：dlsun@ 摘 要：采用电子束蒸发法沉积LaNi-Mg 多层膜，并利用退火合金化过程制备了LaMg Ni 2 合金薄膜。在吸放氢过程中，合金薄膜能够在高反射金属态和透明半导体态之间可逆转变。 4 。薄膜表面形貌的研究表明， 薄膜的透射率和电阻率在反射态和透明态之间的对比度大于10 在氢化过程中薄膜表面平整性遭受破坏且不可回复是脱氢态中出现低反射现象的主要原因。 关键词：薄膜，光电性能，氢, 表面形貌 中图分类号： TB34 文献标识码：A 1. 引言 1996 年，Huiberts[1]等报道了“氢致变色”这一有趣的现象，即室温下覆盖有Pd 保护层的 Y 或La 薄膜随着吸收氢原子的数量变化表现出不同的光电学特性。通过改变氢气压力或温 度，薄膜可在高反射金属态和透明半导体态之间可逆快速转换。随后，Van der Sluis[2]等又 发现其它稀土元素RE （RE = Gd ，La ，Sm，Dy ）和RE-Mg 合金也具有这种“氢致变色”现 象。2001 年，Richardson[3]报道了Mg Ni （z ≥ 2 ）在吸放氢过程中也有可逆的“变色”特性。 z 基于“氢致变色”原理的各种热敏、气敏器件模型也相继被提出[4,5] 。这种可逆的光电学特性 具有的潜在应用价值，越来越引起了人们的重视。 上述材料在吸氢后都具有“氢致变色”特性，且各有不同的优缺点。纯稀土薄膜具有吸氢 速度快（即光学响应时间短），透射率高的优点。但稀土易氧化，且薄膜氢化后有特征颜色， 限制了纯稀土薄膜的应用范围。[6,7]Re-Mg 合金薄膜在整个可见光范围内具有较好的透光性 能，但其透射率较低，依然存在稀土易氧化，膜面易开裂等问题。Mg-Ni 薄膜抗氧化性能较 好，在可见光范围内也具有良好的透光性，但存在透射率较低，响应时间较长等缺点。[8-10] 而对于保护层Pd 来说，不仅能保护功能层薄膜不被氧化，不易开裂，还能催化氢原子的吸 附和脱附，在功能膜层和氢气之间起到一个增强型的通道作用。[9-12]但 Pd 保护层的存在也 同样带来了以下两点不利因素：第一，在Pd/RE 和Pd/Mg 的界面上形成的合金会阻碍氢原 子的传输，破坏薄膜吸放氢循环的稳定性；[13]第二，PdHx 对可见光有较大的吸收，限制了 薄膜的光电学性能。[14] 针对以上问题并结合先前的工作结果，本文提出 LaMg2Ni 合金薄膜这一新型体系，并 对薄膜吸放氢前后光电学性能的变化和表面形貌进行了研究，以期能够改进上述缺点并提高 材料的光电学性能，从而推动这种氢致机敏型可切换窗口器件的实用化研究。 2. 实验 LaMg Ni 合金薄膜是通过先沉积LaNi-Mg 多层膜，再将多层膜进行退火合金化处理后 2 制得的。LaNi-Mg 多层膜结构是在超高真空条件下，通过电子束蒸发LaNi 、Mg 和Ni 三种 靶材制备而成。LaNi 合金是通过感应熔炼，并在惰性气体Ar 气保护下500 ℃退火后制得； Mg 和Ni 则选用纯度为99.9 %的商用金属。LaNi-Mg 多层膜结构以LaNi 层作为第一层，交 1本课题得到教育部博士点专项基金资助项目（项目编号20040246065 ）的资助。 - 1 -