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真空紫外辐射源及其应用 复旦大学电光源研究所 张善端 冯祥芬朱绍龙 摘要 真空紫外(vuv)是波长i0～200 nm的电磁波。气体放电中，激发态原子和准分子衰减时可产生 VUV。本文介绍了作为原子共振辐射VUV源的低气压汞灯、低气压微波等离子体紫外灯和低气压氙灯， 以及基于介质阻挡放电的各种准分子灯，探讨了提高辐射效率的方法。简要介绍了VUV辐射源在有 害气体探测、灭菌、废水和废气处理、光诱导表面改性等方面的应用和进展。 关键词真空紫外共振辐射准分子 灭菌 污染控制表面改性 引言 等离子体能发射从远紫外到红外的电磁波。图1所示为电磁波谱的紫外部分，它可以分为几个 波长(或能量)区间【l】：(1)紫外(uV)，200～380nm；(2)真空紫外(VuV)，10～200nm。在光生物学上， 分解，引起基因突变或细胞被杀灭。VUV会被空气中的氧强烈吸收，只能在真空中传播，故而得名。 远紫外(100～200nm)是等离子体辐射的VUV的重要组成部分，因为这些光子的能量大大超过有机分 子中所有化学键的键能，因此可以产生光化学反应，在灭菌、污染处理、表面改性等方面有很多应 用。 10 100 200 290300320380 780 入(nm) 124 12．4 6．2 4．3 4．1 3．9 3．3 1．6 E(eV) 等离子体 极紫外 远紫外 中紫外 近紫外 可见 一 rr’ -r 物理 紫夕b(uv) ．．jg_蝴b(vuv)．。 光生物学 。uvc—I—uv艮Lu、A一 图l 紫外区电磁波谱及其在等离子体物理和光生物学上的进一步细分‘11 真空紫外辐射源的种类很多，根据它们的工作机制可分为两类：同步加速器辐射和气体放电辐 射。根据经典电磁理论，加速的电子伴随着电磁辐射。在同步加速器中，电子作高速回旋运动，有 巨大的向心加速度，因此产生连续谱电磁辐射，称为同步辐射。如果电子的能量足够大，此连续谱 自可见区一直延续到VUV和x射线区，可作为VUV辐射源。它的辐射功率强，光谱连续且覆盖范 围大，是理想的VUV源。但是其结构复杂，体积庞大，建造、使用和维护费用昂贵，只有少数大型 实验室才能装备，使它的实际应用受到限制。 气体放电辐射源结构简单，使用方便，价格低廉，已在科研和工业部门得到了广泛的应用。由 辐射光谱特性的不同，气体放电辐射vUV源可以分为3类：原子共振辐射源、分子连续谱辐射源和 准分子辐射源。原子由激发态跃迁回基态时产生共振辐射，如激发态Hg原子的185和254nm线， Xe原子的130和147nm线，心原子的116和124 nm线，Ar原子的105和107 nm线，Ne原子的 62和74 nm线等。原子辐射的优点是放电器件简单、技术成熟，共振线的效率很高(60～80％)。但由 于存在基态的共振吸收，辐射源适于工作在低气压下(133 Pa)，不适用于需要高功率密度的场合。 分子连续谱主要有H2／D2的168～208nm辐射，常用于光谱学研究。 准分子是一种不能稳定存在的激发态分子，它们由两个或多个激发原子复合而成。准分子从激 发态回到能量较小的状态时就会辐射出光子，同时分解为原子。只有在特殊的气体放电条件下，如 高频放电、微波放电、介质阻挡放电、脉冲放电和空心阴极放电等，才能产生准分子。 由于VUV容易被材料吸收，对不同的波长，需要选择不同的透射材料。165—200nm可以用熔 融石英，110～165