多晶硅TFT发展与应用.pdfVIP

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  • 2017-08-30 发布于安徽
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总第 期 王恒和,祁康成:多晶硅TFT的发展与应用 55 文章编号:1006-6268(2005)09-0009-06 多晶硅TFT的发展与应用 王恒和 ,祁康成 电子科技大学 光电信息学院,四川成都 ( 610054) 摘 要 多晶硅 具有优良的电学性能,在显示中能够提供更亮、更精细的画面,被视为非晶 : TFT 硅TFT的理想替代品而被广泛地研究。本文主要评述非晶硅的晶化机理和主要研究结构,并简 要介绍其应用。 关键词 多晶硅;晶化机理;薄膜晶体管 : 中图分类号: 文献标识码: TN141.9

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