位相物体干涉测量与扫描成像系统的改进研究.pdfVIP

摘要 位相物体干涉测量与扫描成像系统的改进研究 专 业：光学 学位申请人：王焱 导 师：黄佐华教授 摘要 位相物体的测量与成像是光学领域的一个重要研究课题，生物、医学还是工 业生产过程中，位相物体测量与成像技术都发挥着重要的作用。传统的位相物体 成像技术，已经有很长的发展历史。随着显微测量技术的发展，部分成熟的技术 也已产业化。但传统成像技术都只是停留在相位对比度和成像效果上，对于定量 精度测量则发展缓慢，因此应用受到很大的限制。 针对上述的不足，课题组提出了一种位相物体测量与成像的新技术…——位 相物体干涉测量与扫描成像技术，不但能实现对位相进行定量测量，而且能对位 相物体进行成像，图像显示有多种形式，如伪彩图、灰度图和三维立体图形等。 本论文在原有的位相物体测量与成像实验系统基础上，对原有的图像反演相 位算法进行了改进、提出了极值间距算法，同时改进了原有的杨氏干涉成像部分， 对改进后的部分进行了对比试验，并对其进行分析，得到了有意义的结果。主要 完成的工作及取得成果如下： 一、对原有的图像反演相位算法进行了改进，提出极值间距算法，在精度略 有提高的基础上，明显的减少了系统的计算时间。 二、采用VisualC++6．0软件编写，将图像采集和图像反演相位算法进行 整合，实现系统的全自动化。 三、改进了杨氏干涉系统部分，使在精度不变的基础上，明显的缩短了系统 摘要 的尺寸，增加了系统的稳定性，便于系统的集成化和产品化。 四、对改进后的系统进行了多方面的对比实验并进行了理论分析。 五、通过不同波长激光器的实验，再次验证了系统的有效性，通过旋转测量 的方法，显示了相位物体测量与成像系统的未来前景。 关键词：位相物体；干涉测量；快傅里叶变换算法；极值间距算法；杨氏干涉 成像部分；间接干涉 Ⅱ ABSTI认CT THEl MPROVEMENTOF I PHASEOBJECT I NTERFEROMETRC MEASUREMENTANDSCANNI NGl MAGl NGSYSTEM Major：Optics Candidate：Yah Wang Professor Supervisor：ZuohuaHuang ABSTRACT Phase measurementand isall researchin object imaging importanttopicoptical industrial measurementand field，biological，medical，orprocesses，the phaseobject have role．Thetraditional imagingtechnologyplayed锄important phaseobject has a of