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微機電系統技術於生醫的應用 1 微機電系統技術於生醫的應用 Applications 潘吉祥 Pan Chi Shiang 國立勤益技術學院機械系 Department of Mechanical Engineering, National Chin -Yi Institute of Technology 摘要 微機電系統技術(M icroelectromechanical System Technology)的研發成功，是近十幾 年的事 ，其微小化(Miniaturization) 、高度積體化(largeintegration)、多功能化 (multi-functions)及單晶體化(monolithic integration on-chip)的特點，帶給生醫科技期待的 願景 。因此，本文將就微機電系統技術於生醫的應用作一介紹 ，並且呈現作者所自行 研製的微夾子(micro-grippers)。 一、前言 科幻小說電影-聯合縮小軍 (FantasticVoyage)，將一台太空船縮小到可吞入人體的 食道內 ，使之漫遊在人體器官組織內 ，把人類帶入微小世界的實境 。你曾否想到有一 天一台微機器人能進入你的血管內 、胃腸內或其他器官組織內做醫療診斷的工作 ？試 想這樣的微小機器必然需要有比頭髮直徑更細小的機械元件，如微夾子、微手術刀 、 微幫浦、微閥 、微針管、微馬達 、微連桿及微齒輪 ，以及微感測器，如微內視鏡、微 壓力計、微探針及微化學分析儀等來組成。事實上這不再是幻想或遙不可及的事了 。 近十幾年來 ，當積體電路技術蓬勃發展趨近成熟之際 ，藉由以積體電路製造技術為基 礎的矽微加工技術(Silicon Micromachining Technology)，使得微小機械電子系統的研發 展開了歷史的新頁，而引用同步輻射光源的光刻鑄模技術(LIG A technology)及超精密微 機械加工技術(Super precision Micromachining technology)也相繼投入微製造的行列 ，而 此研製的微小機械電子系統，今日通稱就叫“微機電系統(M icro Electro Mechanical Systems，簡稱 M EM S ，或稱微系統(M icrosystems)” 。藉由微機電技術的研發成功 ，也 促成尖端生醫科技的新興向榮[1-3]。雖然微機電系統的研發成功，帶給生醫科技期待 的願景 ，但在實際技術層面上卻有著相當的挑戰性 。因此 ，本文將就微機電系統於生 醫技術的應用作一介紹，並且呈現作者所自行研製的微夾子(micro-grippers)[4-5]。 二、微機電系統之特色 雖然微機電系統按照不同定義，有時分成兩大類：第一類定義微機電系統本身的 大小在釐米(mm)到毫微米(µm)之間，甚至是到奈米(nm)程度的機電模組系統；第二類 則認為微機電系統是能達到微米以下之運動精確度 ，而機械本身的大小沒有限制 。雖 然有這樣的分類 ，然本文所謂之微機電系統則以第一類為是 。微機電系統是一種整合 電子 、電機、機械、光學 、控制 、材料、化學及生醫等功能元件的模組系統。東西雖 2 勤益學報第十九期 微小不起眼 ，但功能目的卻是神通廣大 。微小化(M iniaturization) 、高度積體化(large integration)、多功能化(multi-function)及單晶體化(monolithic integrationon-chip)，將是微 機電系統的特徵。此產品不但具備輕、薄、短 、小之時代趨勢，而且因產品微小化 ， 進而提升高品質 、高性能、高可靠度 、高附加價值、低重量及低單位製造成本等特性。 這些特性正是迎合目前多項生醫手術、治療 、診斷及分析之儀器產品所迫切需要的 ， 例如：可植入(implantable) 、可攜帶(portable)、可丟棄(disposable)、高靈敏性(high sensitivity)、高反應 性 (quick response)、降低對周圍組織 的傷害之非