电式传感器与测力仪研发回顾与展望.pdfVIP

第 卷第 期 大 连 理 工 大 学 学 报 ! # :’,;!=’;# 年 月 #$$ % ’()*+,’-.+,/+*0*/12)3/45’-6278*’,’95 A+);#$$ @ ???????????@? 文章编号 资深教授学术成就专栏 B$$$CDE$DF#$$G$#C$#HC$D @? ???????????@ 压电式传感器与测力仪研发回顾与展望 孙 宝 元 钱 敏 张 军 大连理工大学 机械工程学院 辽宁 大连 F E$#!G 摘要 较系统 扼要地回顾了作者 余年来在压电式传感器与测力仪 压电式执行器等方面 B L #$ L 的理论研究与产品开发情况 其中对压电效应的理论研究成果 如切向灵敏度分布 石英晶 ; L 体扭转效应 多种能量间的物性效应等 作了比较详细的介绍 对所研发的压电式传感器与 L ; 测力仪产品作了宏观介绍 最后 对作者目前在上述领域所做的工作和对未来研究工作的想 ; 法作了简要阐述; 关键词 传感器 执行器 切削测力仪 压电效应 物性效应 扭转效应 B J M J J J 中图分类号B #$E;J ## 文献标识码B NO NO P 引 言 方面取得一定进展 发现并证实了石英晶体切向 Q 灵敏度分布规律 并应用在多向力传感器的组装 压电效应的研究 从 年居里兄弟 DD$ FORSTTS 上 使该类传感器精度显著提高 发现并证实了石 J 发现石英晶体压电效应开 UVTSWXYZVS[UVTSG 英晶体也存在扭转效应 在扭转效应中存在着非 始 迄今已有 年历史 只有在二战期间 由于 #$ ; 线性极化问题 在 种能量物性效应基础上建立 J % 军事的需要