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一种静电驱动可调电容器的设计 李飞 北京邮电大学，北京（100876 ） E-mail ：lifei.bupt@ 摘 要：本文主要是介绍一种新的可调电容器的设计。这种可调电容器采用静电驱动金属膜 的原理工作，与一般的只有单极板可动的可调电容器相比，这种结构的不同之处在于采用一 些复杂的制作工艺，制作出电容两块极板均可动的可调电容器。这种结构包括两层可动金属 板，下层金属板上覆盖一层薄的绝缘层，防止两层金属膜发生接触粘连。上下两层可动板之 间留有一定厚度的空气隙，金属板在这个区域内可以活动。 关键字：微电子机械系统；可调电容器；平行板电容器 1 引言 微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System)，简称MEMS ，是在微电子技术基础 上发展起来的集微型机械、微传感器、微执行器、信号处理、智能控制于一体的一项新兴的 [1] 科学领域 。 MEMS 的特点和优点是体积小、重量轻、性能稳定，通过IC 等工艺可批量生产，成本 低，一致性好，功耗低等。 最近几年，MEMS技术开始应用于无线通信系统，在RF MEMS技术的很多研究领域， 像微型电容式开关、可调电容、电感和滤波器这些MEMS器件都适合在RF系统中应用。 到目前为止，在所有MEMS可调电容中，用静电力驱动的平行板结构是最常用的结构。 而且平行板可调电容用表面微机械工艺很容易制造。但是由于对于这种电容结构，电压超过 pull-in 阈值电压时，会发生失稳效应，这种可调电容器的理论可调率限制在50% 以下。而且 因为寄生电容的存在，实际可达到的可调率远远低于理论值。 2 可调电容器的原理 2.1 静电驱动原理 静电力驱动是MEMS器件中最简单、最常用的驱动方式，基本工作原理是两个带异性电 荷的电极板之间具有吸引力，在结构上采用两块分开一定距离的极板。当施加电压时，极板 在极板间吸引力的作用下发生变形。 垂直于平板相应的静电力（沿d 的方向）可以通过上式中的电势能导出： dW 1 εε AV 2 Fe + r 0 2 (1) dx 2 x 在所有的电容器中，施加的电压均会挤压极板间的电介质，从该式可以很清楚地看出力与距 离、力与电压的关系是非线性的。但是在某些情况下可通过闭环控制来线性化。 理论上这种执行器的力- 电压特性为非线性的，但是它们的耗能小并且易于制造，所以 到目前为止静电力驱动是最常用的驱动方式。使用静电力驱动的器件具有耐用性好，器件制 造相对简单，而且反应速度相对比较快，受环境改变的影响比较小等优点。在原理上，静电 力驱动几乎不消耗能量，只在保持某种状态的时候需要消耗一些能量。由于制造两个具有微 小间隙的导电极板相对简单，所以它们被广泛应用于微机械器件中。 - 1 - 这篇文章所介绍的可调电容器就是采用静电驱动金属膜的工作原理来工作的。 2.2 静电驱动金属膜工作原理和 Pull-in 效应 对于平行板电容器，电容器的电容值和平行极板间的距离有关系： A C εε (2) r 0 x 改变平行板电容器极板间的距离就可以改变电容器的电容值，根据这一原理可以制作可 变电容器。静电驱动金属膜类型的可变电容器，采用静电驱动方式，静电间的引力引起两极 板的吸引，静电力带动极板运动，产生机械形变，改变电容器极板间的距离，使电容器电容 值发生变化。金属极板间所加偏置电压不同，电容器极板的形变不同，得到的电容值也不同， 通