BR PCC及ACOPOS伺服在刻蚀线上的应用.pdfVIP

BR PCC 及 ACOPOS 伺服在刻蚀线上的应用 朱莉 李小海 赵继敏 （上海交通大学电气工程系200030) 摘要：以荫罩刻蚀线的刻蚀腔体内的摇摆电机控制对象为对象，采用了 BR 的 PCC 和 ACOPOS 伺服控制器，对同步电机进行运动控制，使摇摆腔体内电机能快速、稳定地跟随 设定曲线，并按照设定曲线运动。PCC 中 PVI 使 PCC 方便地与上位机进行通信； PowerLink 使伺服间的通信实时快速；PCC 的高级编程语言 C 使 PCC 完成传统 PLC 不 能完成的高级应用，如曲线的生成；而虚轴概念的引入更是提高了电机运行的可靠性。 关键词：BR PCC，伺服控制器，PVI 通信，曲线运动，虚轴 1. 简介 1 . 1 系统简介 系统为普通糟孔荫罩刻蚀线，主要包括开卷部分、刻蚀腔体部分、第一水洗部分、电解 剥离部分、最终水洗部分和最后的烘干及撕边部分。 表面有光致抗刻蚀剂的成卷钢带，在开卷部分被拉开，并送人刻蚀腔体。腔体刻蚀液为 FeC13 , 与钢带的无光抗部分反应，形成槽孔。第一水洗的作用为停刻蚀，将荫罩表面的 FeC13 均匀地完全去除。剥离部分用于剥离钢带表面的光抗，剥离液为 NaOH 。最终水洗 除去钢带表面的 NaOH 和杂质。烘干部分烘干钢带表面的水分，防止生锈。之后钢带进人 撕边机，撕去荫罩四周的废边。刻蚀生成的工艺过程如图 1 所示。 开 → 刻 → 第一水 → 电解剥 → 最终水 → 烘 → 撕 卷 蚀 洗 离 洗 干 边 图 1 刻蚀生产线工艺过程 刻蚀腔体部分为整个系统的关键，其刻蚀的效果直接影响到产品的合格率。整个刻蚀过 程有 6 个腔体，每个腔体中有上下两对喷嘴，分别由两台电机控制，电机控制喷嘴来回摆 动。因此整个刻蚀部分由 12 台电机组成。由于电机不断来回摆动，这里称之为摇摆电机。 1 . 2 摇摆电机运动简介 根据工艺要求电机必须按照一定轨迹运行，而且不同的电机运行轨迹有所区分。由于对 运行曲线的高要求，摇摆电机的控制选用了 BR 的 PCC 及 ACOPOS 伺服控制器。 在上位机，工作人员给定一条轨迹上的 16 个点，如图 2 所示，其中横轴为位置，纵 轴为速度。12 台电机每台都有一条设定的曲线。PCC 除了完成对电机的起动、停止、运 行等逻辑控制外，主要的功能就是控制电机按一定的轨迹运动，使得这个轨迹同时经过所设 定的 16 个点，并且保证电机运行的平稳。由于要求快速响应和高控制精度，摇摆部分使用 同步伺服电机进行运动控制。之前使用东芝公司的 PLC ，有摆动不平滑的问题，因此改用 BR 开发的高性能控制器 PCC 。PCC 在控制器中使用嵌人式操作系统，且设备层网络采 用实时以太网，可以实现非常高的实时控制要求。 图2 摇摆电机轨迹点设置 2. BR PCC 及 ACOPOS 伺服 2 . 1 BR PCC 硬件配置 摇摆部分采用了 BR 2005 , 2005 系列 CPU 是 BR 第四代控制系统 SG4 ，采用的 是 Intel 处理器，包括了电源模块、CPU 模块、数字输入输出模块。其中 CPU 的 PCI 总 线插槽中插人了 Power Link 网络适配器。若采用 PowerLink 串联，最多只能串联 10 台伺 服控制器，本系统采用 Power Link IF786 及一个 HUB 将 12 台电机分成两条串联支路进 行实时控制。数字输人模块用于起动、停止、紧急停止、12 台电机的 Readay 、找原点信 号输人。数字输出用于电机运行、电机故障、12 台电机寻找原点的状态指示。 上位机与 PCC 可以通过 RS232 与以太网进行通信。RS232 作为编程口。以太