分布式MEMS移相器电容开关时间响应特性研究.pdfVIP

维普资讯 第27卷 第4期 固体 电子学研究与进展 Vo1．27。No．4 2007年 11月 RESEARCHPROGRESSOFSSE NOV．，2007 、 、 p 微机 电系统 J 分布式 MEMS移相器 电容开关时间响应特性研究 贺训军 吴 群 金博识 殷景华 (哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院，哈尔滨 ，l50001)(哈尔滨理工大学应用科学学院，哈尔滨 ，l50080) 2006—01—19收稿 ，2006—05—08收改稿 摘要 ：提出一种适合于分析微波分布式 MEMS移相器静 电驱动 电容开关的开启时间阳动态特性的新方法 。采 用 IntelliSuite 模拟工具的SYNPLE模块研究材料、驱动电压、MEMS桥高度和共面波导信号线宽度对 电容开启 时间的影响。通过优化参数 ，分析结果表明：对于金电容开关，一40V、g。一2．5tLm和 一100tLm，开关的开启时 间为～7 s。 关键词 ：微机电系统 ；电容开关；开启时间；分布式移相器 ；相控阵天线 中图分类号 ：TN304 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—3819(2007)04—550—03 TimeResponseCharacteristicInvestigation oftheCapacitive SwitchesforDistributedM EM S PhaseShifters HEXunjun W U Qun JIN Boshi YIN Jinghua (SchoolofElectronicsandInformationTechnology，HarbinInstituteof Technology，Harbin，150001，CHN) (Schoolof AppliedSciences，HarbinUniversityofScienceandTechnology，Harbin，l50080．CHN) Abstract：Inthispaper，anovelmethod fortheanalysisofswitchingtimeanddynamicbe— havioroftheelectrostaticdrivenRF MEM Scapacitiveswitchesappliedtomicrowavedistributed MEM Sphaseshiftersispresented．Thee{{ectsofthematerials，thedriven voltage，theairgap height．and thewidth oftheCPW signallineon theswitching timeareinvestigated using the SYNPLE moduleofIntelliSuiteTMsimulationtoo1．Bytheoptimizationofparameters，theresults demonstratedthatforAuMEM S capacitiveswitches， 一40V ，g0— 2．5 m ，and = 100 m， theswitchingtimeofswitchesis～ 7 “s． Keywords：MEM S；capacitiveswitches；switchingtime；distributedphaseshifters；phased— array antennas EEACC ：2570