ZL109铝合金表面离子镀TiN薄膜及耐磨性.pdfVIP

— — 轻有色合金 特种铸造及有色合金 2010年第 30卷第 2期 ZL109铝合金表面离子镀 TiN薄膜及耐磨性 王 自荣 潘应君 唐望生。 栾 成 邓 敏 温玉磊 (1．武汉科技大学材料与冶金学院；2．武汉钢铁股份公司) 摘 要 采用多弧等离子体辅助物理气相沉积法 ，在 ZL109铝合金表面沉积 了TiN薄膜并对其形貌结构及耐磨性进行 了 研究。结果表明，在温度较低时TiN薄膜在ZL109铝合金表面生长方式为平面生长模式，随着沉积温度 的升高及时间的延 长 ，生长方式向岛状生长模式转化 ；在沉积温度为 280℃，时间为 1h时，得到的TiN薄膜厚度在 2Ⅱm以上；ZL109铝合金 表面沉积 TiN薄膜后耐磨性提高约 4倍 。 关键词 多弧离子镀 ；TiN薄膜 ；生长方式 ；耐磨性 中图分类号 TG174．444；TG146．2 1 文献标志码 A 文章编号 1001—2249(2010)02—0180—03 DOI：10．3870／tzzz．2010．02．027 从 20世纪 70年代以来，TiN薄膜在工业领域获得 30～40m ln。 了广泛的应用 。采用离子镀技术沉积的TiN薄膜不仅 (3)氩气辉光清洗：时问为 20~30min，气压为 5～ 具有华丽的金黄色外表 ，还具有硬度高 、耐磨性及耐蚀 10Pa，偏压为 900V。 性好等特性_1]。 (4)Ti靶 的弧光清洗 ：时间为 5～8rain，气压为 铝及铝合金作为一种轻质材料 ，以高 比强度 、高导 2～4Pa，偏压为 700V，靶 电流为 75A，试样架旋转 ， 电导热性、易成型性和在某些腐蚀环境下较好的抗腐蚀 以防试样表面熔化。 性，在汽车、航空、电气、化工等行业得到广泛的应用口]。 1．3 TiN薄膜的制备 但是 ，由于铝合金硬度和屈服强度低 ，耐磨性 比钢及其 首先在氩气气氛 中镀一层过渡层，时间为 1～2 他材料差 ，因而减少了其使用寿命 ，并限制 了其使用范 min，偏压 300V，靶电流 75A；之后再沉积 TiN薄膜 ， 围。硬质薄膜被用来改善传统的工程材料 的摩擦学性 时间为 lh，偏压为 100V，炉温为 280℃，靶 电流为 75 能，如摩擦与磨损 ]，以TiN薄膜应用最为广泛，而对 A；沉积完毕 ，试样随炉冷却至 3O℃后取样 。 铝基体上离子镀 TiN薄膜 的研究甚少 ，本课题通过多 1．4 性能测试 弧离子镀技术在 ZL109铝合金沉积了TiN薄膜 ，并对 薄膜形貌结构及耐磨性能进行了研究 试样表面、截面形貌在 FEI公司生产 的NOVA NANDSEM4OO场发射扫描 电镜上观察 ；成分分析 由 1 试验 方法 以上扫描电镜附带的能谱仪进行检测 ；试样表面磨痕形 貌在型号为 Axioplan2的多功能 ZEISS金相显微镜上 1．1 试验材料 观察；磨损试验用 WTM一1E型微量磨损仪测定，摩擦 基体材料为 ZL109合金 ，经过常规热处理 (510℃ 副材料为GCrl5钢。 固溶强化 ，185℃人工时效)，平均硬度 (HV)为 155，试 样尺寸 15mm ×8mm×5mm，经打磨后抛光成镜面 2 试验