MEMS微梁粘着动力分析.pdfVIP

第 24 卷 　第 2 期 应 用 力 学 学 报 V ol . 24 　No . 2 200 7 年 6 月 C HINESE J OU RNAL OF A PPL IED M ECHANICS J un . 2007 文章编号 : 100024939 2007) 022027 620 3 3 M EM S 微 梁 粘 着 动 力 分 析 1 1 2 田文超 　贾建援 　陈光焱 西安电子科技大学 　7 1007 1 　西安) 1 　 西南电子工程研究所 　621000 　绵阳) 2 摘要 : 针对严重影响 M EM S 性能和可靠性 的微梁粘着问题 ,根据 W2S 微观连续介质理论 ,建立 了 粘着力数学模型