基于光杠杆原理纳米级微位移测量系统研究.pdfVIP

第28 卷　第2 期 　　 光　学　仪　器 V o l. 28,N o. 2 2006 年4 月 O P T ICA L IN STRUM EN T S A p r il, 2006 文章编号:(2006) 02006 105 基于光杠杆原理的纳米级微位移测量系统研究 张攀峰, 吴　宇, 刘晓曰, 杨国光 文 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 3 10027) 　　摘要: 介绍了一种基于光杠杆原理的光学微位移