高速沉积微晶硅太阳电池及前电极陷光特性研究.pdf

中文摘要 中文摘要 高速、高效单结微晶硅薄膜太阳电池的研究是硅基薄膜太阳电池产业化的 关键技术之一。本论文围绕着上述目标，采用甚高频、高压、高功率相结合的 技术路线进行了高速率微晶硅薄膜和太阳电池的研究。同时，考虑到光管理的 重要性，本论文也详细研究了不同前电极对制备单结微晶硅薄膜太阳电池的影 响。主要的工作内容和研究成果如下： 一、高速率微晶硅材料的研究。着重研究了压力、功率以及电极间距等对 微晶硅材料的沉积速率、电学特性和微结构的影响。沉积速率随着压力的增加 存在先增大后减小的趋势，在压力较小时，增大压力有助于提高前驱物通量， 降低电子温度，从而增大沉积速率且改善了薄膜质量；而继续增加压力，粉尘 产生，沉积速率和薄膜质量都降低。增加功率有助于提高电子温度，促进更多 的氢气分解，从而提高微晶硅材料的晶化率，但过高的功率会同时降低材料的 晶化率和沉积速率，需要将功率控制在合理的范围。电极间距增大，增加了等 离子体的反应空间，增大了前驱物分解的几率，从而有效的提高了沉积速率。 此外，鉴于文献报导的电极间距相关结果，并结合本实验研究的成果，分析了 在制备高速率微晶硅薄膜太阳电池时，平板电极和喷淋电极在电极间距选择上 的差异