薄膜结晶取向的影响.pdfVIP

年第 期( )卷 888 2013 6 44 溅射时间对 Mo薄膜结晶取向的影响∗ , 1 1 1 1 1 1 1 12 1 , , , , , , , , 张艳霞 冀亚欣 欧玉峰 闫 勇 李莎莎 刘 连 张 勇 赵 勇 余 洲 　 　 　 　 　 ( , ;